Wakuum komponentleri

Atylylyk bejergisi esasan okislenme, diffuziýa we anneal prosesleri öz içine alýar.Okislenme, kremniý wafli ýokary temperaturaly peje ýerleşdirilýän we wafli üstünde kremnini emele getirmek üçin kislorod goşulýan goşmaça prosesdir.Diffuziýa, maddalary ýokary konsentrasiýa meýdanyndan pes konsentrasiýa sebtine molekulýar ýylylyk hereketi arkaly geçirmekdir we diffuziýa prosesi kremniniň aşaky gatlagynda belli doping maddalaryny köpeltmek üçin ulanylyp, ýarymgeçirijileriň geçirijiligini üýtgedip biler.